光学微电子洁净工程
光学微电子净化工程概述
● 光学微电子净化工程之定义为将空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。
● 光学微电子净化工程一般包括：
⑴.洁净生产区
⑵.洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）
⑶.湿度：40～60％
⑷.管理区（包括办公、值班、管理和休息）
⑸.设备区（包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房）
