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光学微电子洁净工程
作者:净化科技 浏览次数:   发布日期:2021-04-12
光学微电子净化工程概述
 
● 光学微电子净化工程之定义为将空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
 
● 光学微电子净化工程一般包括:
 
⑴.洁净生产区
 
⑵.洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
 
⑶.湿度:40~60%
 
⑷.管理区(包括办公、值班、管理和休息)
 
⑸.设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)