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水针净化车间
作者:惠龙净化科技 浏览次数: 发布日期:2018-05-08


ISO14644-1(国际标准)
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um
ISO Class1 10 2        
ISO Class2 100 24 10 4
ISO Class3 1,000 237 102 35 8
ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO Class7       352,000 83,200 2,930
ISO Class8       3,520,000 832,000 29,300
ISO Class9       35,200,000 8,320,000 293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平

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